中文：橢圓偏振測(cè)量術(shù)；英文：ellipsometry的原理；中文：橢圓偏振測(cè)量術(shù)；英文：ellipsometry的定義；中文：橢圓偏振測(cè)量術(shù)；英文：ellipsometry是什么。
簡(jiǎn)稱“偏振測(cè)量術(shù)” “橢偏術(shù)”。利用橢圓偏振光在遇到樣品被反射散射或透射時(shí)，其偏振狀態(tài)的改變而實(shí)現(xiàn)的一種測(cè)試技術(shù)。常用于測(cè)量薄膜的厚度、折射率等光學(xué)常數(shù)，并廣泛用于生物學(xué)、半導(dǎo)體物理、腐蝕與表面科學(xué)以及電化學(xué)等領(lǐng)域。