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了調(diào)零過程，圖像獲取速率可以達(dá)到攝像機(jī)的zui高幀率，提高了測量速度，也減小了人為誤差；而且對光束強(qiáng)度的均勻性沒有要求，測量性能大大提高，可以實(shí)時(shí)檢測樣品表面缺陷和污染。2019 年日本東北大學(xué)采用三步相移橢偏成像技術(shù)，以橢偏測量術(shù)結(jié)合時(shí)間相移圖像處理單元進(jìn)行相移成像橢偏測量。與光度法相比，該技術(shù)通過四分之一波片（QWP）和旋轉(zhuǎn)線性偏振片（RLP）插入相移，根據(jù)旋轉(zhuǎn)線性偏振片的方位角進(jìn)行連續(xù)采集，在恒定旋轉(zhuǎn)速度下，選擇具有相等角度間隔的三個(gè)角度，在恒定時(shí)間內(nèi)得到三幅圖，用于測量納米材料厚度，結(jié)構(gòu)如下圖所示。三步相移成像橢偏儀結(jié)構(gòu)示意圖其中，使用QWP和RLP插入相移。由于相移圖像是根據(jù)RLP的 ...
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