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中文：可控微掃描；英文：controllable micro-scan_ ning

解釋
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 微位移與微探測間隔的比例可控的一種微掃描。根據(jù)掃描的水平和垂直移動(dòng)的順序，分為1×1、2×2、3×3等掃描模式。典型的2×2 模式的微掃描所形成的微位移是微探測器間隔的一半。