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面的破損影響光學(xué)系統(tǒng)透過率和像質(zhì)；同時(shí)，該方法檢測(cè)精度較低，且一次測(cè)量只能完成一個(gè)子單元的焦距測(cè)量，不適合單元數(shù)較多的微透鏡陣列檢測(cè)。2，顯微鏡共焦檢測(cè)法西安光學(xué)精密機(jī)械研究所使用一種基于顯微鏡共焦檢測(cè)系統(tǒng)的方法測(cè)量微透鏡陣列的焦距，如圖 2-1所示。根據(jù)顯微鏡中像點(diǎn)清晰度變化確定微透鏡陣列的頂點(diǎn)和焦點(diǎn)位置，完成微透鏡陣列的焦距測(cè)量測(cè)量系統(tǒng)需要兩個(gè)點(diǎn)光源1、6和相應(yīng)的準(zhǔn)直系統(tǒng)，測(cè)量分兩步進(jìn)行：首先確定焦點(diǎn)位置，利用點(diǎn)光源1的出射準(zhǔn)直光源經(jīng)過被測(cè)微透鏡陣列成像與其焦點(diǎn)上，移動(dòng)顯微鏡使像點(diǎn)最清晰即顯微鏡與微透鏡陣列共焦；再關(guān)閉光源1而開啟點(diǎn)光源6，移動(dòng)顯微鏡物方焦點(diǎn)至微透鏡陣列頂點(diǎn)處，兩次測(cè)量過程 ...
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