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中文:成核層;英文:nucleation layer

關(guān)鍵詞
解釋
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外延層與襯底有較大的晶體失配而可能導(dǎo)致失配位錯(cuò)時(shí),先外延的一層與襯底晶格常數(shù)失配較小并為后續(xù)外延層提供晶體成核中心的半導(dǎo)體薄層。