解釋
中文：微懸臂梁紅外探測器；英文：micro-canti- lever infrared detector的原理；中文：微懸臂梁紅外探測器；英文：micro-canti- lever infrared detector的定義；中文：微懸臂梁紅外探測器；英文：micro-canti- lever infrared detector是什么。
用兩種熱脹系數(shù)不同的材料黏合而成的復(fù)合膜制成的微懸臂梁結(jié)構(gòu)作為敏感元，利用其受熱后的形變轉(zhuǎn)換成電容或者反射鏡角度的變化來探測紅外輻射的光電探測器。
