量子級聯(lián)激光器-長波紅外（λ>6 μm）的材料與制造封裝MOCVD特別適合生長非常厚的層，通常包括在QCL結(jié)構(gòu)中，需要很長的生長時間。為了得到非常尖銳的多量子阱界面，對襯底溫度、界面切換機制、生長速率、V/III比等生長參數(shù)進行了迭代生長條件優(yōu)化。雖然還沒有完全解釋，界面粗糙度肯定在QCL性能的定義中起作用。模擬和實測x射線衍射曲線對比如圖1所示。測量是在用于MWIR QCL設(shè)計的InGaAs/InAlAs多層材料上進行的，生長應(yīng)變分別為~ 1%的拉伸/壓縮應(yīng)變平衡?？偟膩碚f，需要在完整的結(jié)構(gòu)中實現(xiàn)少量的殘余應(yīng)變，并且x射線圖中的衛(wèi)星峰需要窄才能認為材料質(zhì)量好。仿真曲線與實驗曲線吻合較好 ...

量子級聯(lián)激光器-長波紅外（λ>6 μm）的制造性能展示到目前為止，在λ = 6-8 μm范圍內(nèi)，已經(jīng)實現(xiàn)了長波長的高功率（pto bbb1w）工作。當(dāng)波長達到λ = 9 μm （pto = 0.5 W）時，性能顯著提高，而當(dāng)波長超過9 μm時，性能迅速下降。本文總結(jié)了波長為λ = 6.1 μm （QCL-A）、λ = 7.3 μm （QCL-B）、λ = 7.8 μm （QCL-C）和λ = 8.9 μm （QCL-D）的激光器的實驗結(jié)果。這些器件的激光器結(jié)構(gòu)基本上是相似的，包括與InP襯底相匹配的多阱InGaAs/InAlAs有源區(qū)域晶格，以及所謂的結(jié)合-連續(xù)體或等效方式的四個或更多有 ...

波長的中紅外量子級聯(lián)激光器（QCL Laser）、激光模組及激光管。 ...