槽陣列隨后被對準并連接到器件上,以實現(xiàn)光纖耦合器件結(jié)構(gòu)。關于制造過程和器件結(jié)構(gòu)的更多細節(jié)在參考文獻10中進行了解釋。圖3所示?;赥FLN的Mach-Zehnder傳感器芯片的制造工藝步驟。(a)離子注入和鈮酸鋰晶體與石英襯底的結(jié)合。虛線表示鋰鈮酸鹽層的離子注入層。(b)晶體離子切片工藝及TFLN生產(chǎn)。(c)極化電極沉積。(d)高壓極化過程。電子束光刻、蝕刻、波導形成和聚合物鈍化層沉積。箭頭表示TFLN層的自發(fā)極化方向。圖4所示。通過器件的典型極化電流。4.器件特性A.環(huán)形諧振式電場傳感器圖5(a)顯示了一個制造和封裝的基于微環(huán)諧振器的電磁場傳感器的圖像??梢钥闯?,封裝的傳感器非常緊湊。目前封 ...
、穩(wěn)定的空間對準。由于光子集成電路取代了多個大塊光學元件(以及它們的機械安裝和支架),電光太赫茲傳感器的尺寸和重量大大減少。未來,具有成本效益的薄膜LNOI探測器芯片的晶圓級制造設想將變成現(xiàn)實。使用鈮酸鋰和光子集成的電光太赫茲波探測器由器件概念表示,其中入射太赫茲波電場使用等離子體天線和等離子體器件局部增強。我們的研究目標是通過開發(fā)一種光子集成的全介電電磁傳感器來推進技術(shù)。該設備對于射頻/毫米/太赫茲頻率電場和波的非侵入性測量非常重要,在這種環(huán)境中,沉積在鈮酸鋰上的金屬結(jié)構(gòu)可能會扭曲待檢測的電場模式。結(jié)果光子集成電路薄膜LNOI電光太赫茲傳感器設計如圖1所示。它由一個Mach-Zehnder ...
以保持其干涉對準,以及專有的自鎖機制,使不可逆組裝。分光鏡經(jīng)過專門設計,使反射鏡的運動能夠調(diào)制2-14 um光譜區(qū)域的光(圖2)。圖2ChemPen?背后的MEMS引擎是在桑迪亞guo家實驗室的SUMMiT-V制造工藝中制造的,Albuquerque, NM,由五層多晶硅組成,每個多晶硅層之間具有中間犧牲氧化物,并且具有小于0.25 um間隙的旋轉(zhuǎn)部件的特定功能。后處理包括粘結(jié)墊和微量金屬化,骰子,臨界點干燥,鏡面金屬化后釋放,以盡量減少固定和移動鏡的曲率變化。ChemPen?目前是手工組裝,但批量組裝技術(shù)正在開發(fā)中。了解更多詳情,請訪問上海昊量光電的官方網(wǎng)頁:https://www.auni ...
組件實現(xiàn)精確對準的批量金屬化,該組件允許通過運動耦合在頂部陰影掩模和底板之間進行可重復的-?m級對齊。圖1說明了裝配前的金屬化反射鏡組件使用干涉輪廓顯微鏡(WYKO, NT 2000)測量金屬化和組裝鏡面的表面形貌。與之前記錄的數(shù)據(jù)相比,將釋放后金屬化與金屬涂層結(jié)構(gòu)的各種鏡面強化技術(shù)相結(jié)合,可以顯著改善RMS平面度和增加曲率半徑。在整個透明孔徑上測量到的RMS平坦度小于40 nm,對應于min工作光譜區(qū)域2 um的小于波長的1/50。峰谷差小于210 nm,使得整個透明孔徑的曲率半徑大于80 cm,曲率半徑僅為2μm,遠小于一條條紋。所開發(fā)的工藝具有魯棒性和高度可重復性。圖22. 鏡像運動Ch ...
2.9μm,對準后在紅外相機(Xenics-Gobi 640)上對波導輸出進行成像,在TM偏振下的輸出強度分布如圖1b所示。模態(tài)強度分布(COMSOL)模擬顯示,沿x軸和y軸的FWHM分別為10.1μm和2.3μm。采用熱電冷卻型碲化汞鎘(MCT)探測器(VIGO系統(tǒng))記錄采集物鏡的信號。來自MCT探測器的信號被記錄在一臺計算機上,該計算機也對QCL進行了調(diào)諧,并使用軟件包(LaserTune)對光譜進行處理。作為一種簡單的紙基流體結(jié)構(gòu),用一條濾紙將含水分析物引入波導表面,并確定倏逝吸收路徑長度。在濾紙上蓋上一層副膜以避免樣品蒸發(fā)。已經(jīng)證實,在波導表面存在濾紙本身不會顯著改變光傳輸。圖2在雙蒸 ...
。當單模光纖對準太陽時,獲得了太陽光譜。太陽光譜包括數(shù)千條吸收線,這些吸收線是由太陽大氣中不同元素的存在引起的,可以用來研究太陽的成分和溫度。上海昊量光電作為中階梯光柵光譜儀的中國代理,為您提供專業(yè)的選型以及技術(shù)服務。對于中階梯光柵光譜儀有興趣或者任何問題,都歡迎通過電話、電子郵件或者微信與我們聯(lián)系。如果您對中階梯光柵光譜儀有興趣,請訪問上海昊量光電的官方網(wǎng)頁:http://www.jiazhangclub.com/details-2314.html歡迎繼續(xù)關注上海昊量光電的各大媒體平臺,我們將不定期推出各種產(chǎn)品介紹與技術(shù)新聞。更多詳情請聯(lián)系昊量光電/歡迎直接聯(lián)系昊量光電關于昊量光電:上海昊量光 ...
為了方便光學對準,使用與低溫兼容的環(huán)氧膠將光纖陣列(FA)粘附到PIC上。等離子體馬赫-曾德爾調(diào)制器具有兩臂之間的不平衡,引入了一個固定的相移。這允許在不需要電學調(diào)節(jié)的情況下調(diào)整調(diào)制器的工作點,例如通過熱光相移器,避免了給低溫恒溫器增加額外的熱負載。相位調(diào)制是利用有機電光(OEO)材料的線性電光效應實現(xiàn)的。OEO材料已被證明在4.2 K下表現(xiàn)出高非線性,該裝置的特點是在室溫和4k環(huán)境下的頻率響應。圖1(a)描述了等離子體馬赫-曾德爾調(diào)制器的實驗裝置圖。圖1(b)顯示了在4 K溫度下從5 GHz到108 GHz的近乎平坦的頻率響應。更準確地說,樣品被放置在一個4 k閉環(huán)液氦低溫恒溫器中。一個安裝 ...
儀進行高精度對準。由于光頻梳偏頻測量模塊(COSMO)使用了納米光子波導,它可以使用比傳統(tǒng)方法低得多的脈沖能量來檢測載波包絡偏移頻率,它允許以小于200 pJ (即frep頻率=1 GHz時,平均功率< 200 mW,其中frep是指重復頻率)的脈沖能量精確檢測fceo,這使得光頻梳偏頻測量模塊(COSMO)可以與各種頻率的光梳一起使用,包括那些功率很低的光頻梳或重復頻率很高的光頻梳。圖2如圖2所示的簡單配置中,將鎖模光纖激光器與光頻梳偏頻測量模塊(COSMO)連接,再將該模塊連接到示波器上,我們就可以在示波器上看到三個峰,分別是fceo、fceo-frep、frep.下面介紹一下利用光 ...
復雜光學系統(tǒng)對準/計量參考球體或顯微鏡物鏡可以很容易地放置或擰到R-Cube模塊的出口處。在此配置中,點源創(chuàng)建一個發(fā)散光束,該發(fā)散光束注入被測系統(tǒng)中。實時波前顯示允許監(jiān)控和優(yōu)化光學對準。1.3面型檢測當集成到反射裝置中時,Phasics SID4波前傳感器可以執(zhí)行面型檢測。Kaleo 軟件輸出3D 曲面圖和凸面或凹面(如透鏡、鏡子或模具)的曲率半徑。ISO 10110 標準定義的所有表面質(zhì)量參數(shù),如表面不規(guī)則度、粗糙度和波紋度,都是從該測量中計算得出的。也可以在任何方向上提取表面輪廓,并且可以將結(jié)果與理論表面進行比較。二、激光測試和自適應光學控制Phasics的波前傳感器以其無與倫比的高分辨率 ...
如光學測試和對準(表面測量)、傳輸波前誤差測量、調(diào)制?!颭WLSI四波橫向剪切干涉測量原理四波橫向剪切干涉測量(QWLSI原理) 具有納米級靈敏度和高分辨率的相位和強度。這項創(chuàng)新技術(shù)依靠衍射光柵將入射光束復制成4個相同的波。經(jīng)過幾毫米的傳播,4個波紋重疊并干涉,在檢測器上產(chǎn)生干涉圖?!颭WLSI四波橫向剪切干涉技術(shù)優(yōu)勢四波橫向剪切干涉測量技術(shù)(QWLSI),也被稱為改進哈特曼掩模技術(shù)。它以其高空間分辨率,無需中繼透鏡即可測量發(fā)散光束的能力和消色差而脫穎而出。該技術(shù)于2004年由Phasics在市場上推出,現(xiàn)在因其性能和易于集成而獲得國際認可。圖2SID4波前傳感器圖3 棋盤格網(wǎng)柵三、190-4 ...
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