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蓋板玻璃,前透明電極,液晶層,反射鏡像素,集成電路背板(CMOS工藝)等結(jié)構(gòu)組成。SLM有著廣泛的應(yīng)用,可以用于光束轉(zhuǎn)向、分束、調(diào)焦,光鑷,脈沖整形,衍射光學(xué)等領(lǐng)域。SLM的剖面圖和相位調(diào)制原理圖如圖一所示:圖1 SLM截面圖及相位調(diào)制原理蓋板玻璃起到保護(hù)和封裝液晶的作用,針對實(shí)際使用中光源的不同波長范圍,蓋板玻璃表面鍍有相應(yīng)波長范圍的寬譜AR膜,可以大大減少反射光,提高系統(tǒng)效率。前透明電極層位于液晶層的頂部,加載有恒定電壓。液晶層是SLM中的工作物質(zhì),液晶分子的排列狀況可以在電場作用下發(fā)生變化,從而改變經(jīng)過該像素的光的相位延遲。像素位于液晶層底部,其上鍍有鋁或介質(zhì)膜的反射層,具有很高的反射 ...
:保護(hù)玻璃,透明電極,液晶層,像素電極層(Wafer)構(gòu)成。1) 保護(hù)玻璃的透過率窗口片保護(hù)玻璃的透過率在相應(yīng)的工作波段(400-800nm,500-1200nm,850-1650nm)內(nèi)通常在98.5-99.5%范圍內(nèi),因此有少量的光被直接反射回去。2)透明電極的透過率透明電極的透過率一般都在99%以上,該部分造成的零級光基本可以忽略。3)空間光調(diào)制器填充率像素電極層(Wafer)由一個(gè)個(gè)的獨(dú)立像元構(gòu)成,從而SLM可以實(shí)現(xiàn)針對單個(gè)像元的獨(dú)立調(diào)制。相鄰像元之間會(huì)有微小的縫隙,縫隙部分無法加載電壓,因此對應(yīng)的液晶層無法加載相位,這部分未被調(diào)制的光會(huì)反射回去,產(chǎn)生零級光。4)入射光照射到非工作區(qū)域 ...
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