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中文：縮小投影光刻；英文：reduced projection lithography

解釋
中文：縮小投影光刻；英文：reduced projection lithography的原理；中文：縮小投影光刻；英文：reduced projection lithography的定義；中文：縮小投影光刻；英文：reduced projection lithography是什么。
 利用縮小投影光學成像的方式，將掩模板上的圖形縮小投影到基底上的抗蝕劑或光刻膠中的光刻工藝。
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