中文：鎖相干涉儀；英文：phase-locked interfero-meter的原理；中文：鎖相干涉儀；英文：phase-locked interfero-meter的定義；中文：鎖相干涉儀；英文：phase-locked interfero-meter是什么。
一種運(yùn)用鎖相技術(shù)的光學(xué)干涉儀。其原理是使用探測器將干涉圖樣轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，然后去控制干涉臂或者參考臂，從而實(shí)現(xiàn)干涉條紋的穩(wěn)定。為了測量一個(gè)區(qū)域，探測器需要掃描整個(gè)波前，由于掃描速度會(huì)發(fā)生改變，含有大量條紋的干涉圖可以通過鎖相干涉儀測量出來，重復(fù)精度可以達(dá)到百分之一波長。