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分布等?;?span style="color:red;">干涉條紋的疏密度敏感于波前的斜率,因此波前傳感器在探測(cè)波前的偏離范圍較傳統(tǒng)的哈特曼傳感器具有更大的優(yōu)越性。波前傳感器的典型應(yīng)用光在傳輸?shù)倪^(guò)程中會(huì)經(jīng)過(guò)不同的介質(zhì),不同的介質(zhì)由于其構(gòu)成物質(zhì)的分布不均勻,從而導(dǎo)致光的波前產(chǎn)生各種各樣的變化,自適應(yīng)系統(tǒng)便應(yīng)運(yùn)而生。作為自適應(yīng)系統(tǒng)中重要的一環(huán),波前傳感器的檢測(cè)精度,動(dòng)態(tài)范圍等等因素,都制約著自適應(yīng)系統(tǒng)最終的調(diào)制結(jié)果。由于剪切干涉波前分析儀具有分辨率高,探測(cè)精度高,探測(cè)速度快,操作簡(jiǎn)便,可直接的三維顯示波前畸變的模式等優(yōu)點(diǎn),目前已經(jīng)得到了廣泛的使用。1、自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)實(shí)時(shí)波前探測(cè)在自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)中利用Phasics波前傳感器檢測(cè)到精確的波前畸變 ...
年來(lái)直接激光干涉條紋法(Direct Laser Interference Patterning, DLIP)是在微結(jié)構(gòu)加工中使用的快速而高效的方法。這個(gè)方法是用兩束或者多束激光,在被加工表面上,直接形成干涉條紋曝光。通過(guò)控制光束的數(shù)量、入射角、波長(zhǎng)、偏振態(tài)、強(qiáng)度、相位差等,可以精確控制干涉圖樣。論文中提出了用于增加干涉區(qū)域,從而實(shí)現(xiàn)高效利用高功率脈沖激光的新方法。此外,DLIP和LIPSS的結(jié)合,使得微結(jié)構(gòu)和亞微結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)效率大大提升,大面積衍射以及超疏水表面的生產(chǎn)面積上升了幾個(gè)數(shù)量級(jí)。實(shí)驗(yàn)中使用AISI 316L鋼作為試驗(yàn)材料,這種鋼在生產(chǎn)生活中有著廣泛應(yīng)用,比較有代表性。激光器使用的是1 ...
面上就會(huì)看到干涉條紋。攝像機(jī)被放置在成像平面上,以便放大條紋便于觀察。當(dāng)XY相位系列SLM以不同的相位圖驅(qū)動(dòng)時(shí),可以看到動(dòng)態(tài)干涉條紋。分析干涉條紋可以獲得XY相位SLM進(jìn)行相位調(diào)制信息。圖3 SLM的Twyman-Green 干涉儀光路圖4所示的離軸配置,在光路中移除了非偏振分束器,從而最大限度地提高升系統(tǒng)效率。激光束以一個(gè)輕微的角度(≤15°)入射到SLM上,照射到SLM上,經(jīng)像素反射鏡反射,然后用鏡頭在相機(jī)上成像。請(qǐng)注意,因?yàn)檫@個(gè)光學(xué)裝置不是干涉儀,實(shí)際的相位調(diào)制在相機(jī)上是不可見的。這個(gè)光學(xué)設(shè)置只是為了說(shuō)明離軸系統(tǒng)的概念。應(yīng)該修改配置以滿足確切的應(yīng)用需求。偏軸角盡可能小,以減少光線通過(guò)超 ...
差會(huì)產(chǎn)生一條干涉條紋,通過(guò)所謂的條紋計(jì)數(shù)法即可得到被測(cè)位移的大?。_@是一種直流光強(qiáng)檢測(cè)的方法,對(duì)激光器的頻率穩(wěn)定度和測(cè)量環(huán)境要求很高,其中光學(xué)元器件是造成元器件的非線性誤差的重要因素之一,原因一般為安裝調(diào)試復(fù)雜,還有調(diào)整內(nèi)部玻片的角度,而且單頻干涉原理下抗干擾能力不強(qiáng),受環(huán)境影響較大。零差干涉儀示意圖2 激光外差干涉:外差干涉法是較為流行的一種檢測(cè)方式,其原理同樣基于邁克爾遜干涉儀,但采用一定頻差??f的雙頻光束作為載波信號(hào)的干涉儀,也就是所謂的雙頻干涉。其原理為當(dāng)激光探測(cè)到一個(gè)物體的位移時(shí),由于多普勒效應(yīng),被物體散射或反射的光的頻率將會(huì)發(fā)生多普勒頻移,即物體的位移對(duì)光進(jìn)行了調(diào)制,(波在波源 ...
要進(jìn)行連續(xù)的干涉條紋計(jì)數(shù),只需要分析各波長(zhǎng)的干涉級(jí)小數(shù)部分即可準(zhǔn)確地解算出被測(cè)距離。多波長(zhǎng)干涉理論有兩個(gè)基本思想:一是利用多個(gè)單波長(zhǎng)組成一列長(zhǎng)度不同的合成波長(zhǎng);二是利用不同長(zhǎng)度的合成波長(zhǎng),多次進(jìn)行干涉測(cè)量,逐步求解被測(cè)距離,逼近被測(cè)真值??梢钥闯?,多波長(zhǎng)干涉和傳統(tǒng)干涉儀的最大不同之處就在于多波長(zhǎng)干涉的被測(cè)距離的相位變化是由多個(gè)波長(zhǎng)同時(shí)決定,即產(chǎn)生一個(gè)由合成波長(zhǎng)決定的相位差,整個(gè)測(cè)量相當(dāng)于用一個(gè)合成波長(zhǎng)等價(jià)于好幾個(gè)測(cè)量光波完成。在測(cè)量的過(guò)程中,選擇比較接近的兩個(gè)波長(zhǎng),可以得到的合成波長(zhǎng)遠(yuǎn)大于任一波長(zhǎng),然后用此合成波長(zhǎng)去測(cè)距。若只采用單波長(zhǎng)進(jìn)行測(cè)量時(shí),需要對(duì)相位差的整數(shù)部分和小數(shù)部分同時(shí)計(jì)數(shù)才能得 ...
用CCD記錄干涉條紋。采集到的干涉條紋,經(jīng)過(guò)傅里葉變換,分別提取到強(qiáng)度圖和XY方向的相位梯度,并合成為相位圖。這樣通過(guò)一次采集,就得到了該位置處的強(qiáng)度和相位信息,同時(shí)也能推算出其他位置處的強(qiáng)度和相位信息。一次拍攝,能同時(shí)解出強(qiáng)度和相位。三、優(yōu)勢(shì)1、相比于夏克-哈特曼傳感器,采樣點(diǎn)更多,具有更高的分辨率。2、靈活易用,通過(guò)簡(jiǎn)單的設(shè)置就能進(jìn)行測(cè)量。3、消色差,一個(gè)傳感器就可用于400-1100波長(zhǎng)范圍內(nèi)的測(cè)量。四、探測(cè)波長(zhǎng)包括從紫外(150nm)到遠(yuǎn)紅外(8.14um)一系列波長(zhǎng)范圍五、應(yīng)用案例激光測(cè)試解決方案M2、斯特列爾比、Zernike、束腰位置和尺寸、 PSF;可測(cè)試光束質(zhì)量;可搭配任意變 ...
生空間變化的干涉條紋。由此產(chǎn)生的干涉圖樣的條紋間距和相位都與入射光的波長(zhǎng)有關(guān),因此分析它們的結(jié)構(gòu)可以精確地確定激光波長(zhǎng)。圖1 斐索波長(zhǎng)計(jì)原理示意圖波長(zhǎng)的粗略估計(jì)可以直接從條紋間距得到,其絕對(duì)精度為百分之一??梢酝ㄟ^(guò)條紋圖樣的相位來(lái)進(jìn)一步改進(jìn)這一初步估計(jì)。在不犧牲絕對(duì)精度的前提下,采用不同自由光譜范圍(FSRs)的多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)具來(lái)細(xì)化波長(zhǎng)的測(cè)量。MOGLabs FZW系列波長(zhǎng)計(jì)使用了四個(gè)這樣的標(biāo)準(zhǔn)具,使得zui終的FSR達(dá)到7.5 GHz,測(cè)定波長(zhǎng)的絕對(duì)精度達(dá)到107分之一。圖2 準(zhǔn)直的單色激光和菲索標(biāo)準(zhǔn)具在成像探測(cè)器上產(chǎn)生干涉圖樣。波長(zhǎng)是通過(guò)結(jié)合四種不同標(biāo)準(zhǔn)具的條紋測(cè)量結(jié)果計(jì)算得到MOGLabs ...
和解析納米級(jí)干涉條紋。為了適應(yīng)人眼accommodation,要再現(xiàn)的三維信息可以僅具有幾厘米的深度分辨率,而不是全息所能達(dá)到的納米級(jí)分辨率。這樣的圖像甚至可以像現(xiàn)代視頻游戲那樣,壓縮成覆蓋有紋理圖案的三維網(wǎng)格模型。視頻游戲?qū)⑦@些信息與虛擬攝像機(jī)的位置一起處理以顯示二維圖像。同樣,如果顯示需要,游戲引擎可以顯示三維圖像(如可以使用立體VR headset調(diào)整和播放視頻游戲)。實(shí)際上,要傳輸?shù)斤@示系統(tǒng)的數(shù)據(jù)量并不大,并且當(dāng)今的技術(shù)很容易就能應(yīng)對(duì)。然而,對(duì)于三維圖像,其全息圖的計(jì)算極大地增加了信息量(因?yàn)檠苌鋱D案不能夠縮放到適應(yīng)人眼的橫向分辨率(≈1 arcminute或0.3mrad),而是必須 ...
間相干的,且干涉條紋可見度始終是最大的,此時(shí):將方程(8)應(yīng)用到方程(6)可得:另一種情況則相反,光源是空間不相干的,干涉條紋可見度始終是最小的。在此情形下,相干函數(shù)為:將方程(10)代入方程(6),得:在方程(11)中,系統(tǒng)響應(yīng)|p(x,y)|2是點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)(PSF)。它的傅里葉變換H(u,υ)是光學(xué)傳遞函數(shù)(OTF)。OTF與光瞳函數(shù)的二維自相關(guān)成正比:出于簡(jiǎn)化考慮,常數(shù)比例因子被略掉,這對(duì)我們的分析只有很小的影響。盡管如此,OTF在其原點(diǎn)以統(tǒng)一最大值表示。我們注意到,所有的真實(shí)光源都是部分相干的。大多數(shù)的被動(dòng)成像是空間不相干的。如前所述,主動(dòng)成像的特性取決于所用的光源。顯微鏡、計(jì)量、光刻 ...
A 效應(yīng)會(huì)使干涉條紋幾乎消失,在這種情況 下,軟件校正無(wú)濟(jì)于事。需要根據(jù)應(yīng)用要求評(píng)估物鏡的使用。 如果可能的話,使用低數(shù)值孔徑物鏡總是更好。實(shí)際上,在所有應(yīng)用中,低NA(理想情況下NA < 0.5)對(duì)測(cè)量光譜的影響非常小。圖 4 校正TFCompanion 中的NA 影響。 TFCompanion 有一個(gè)選項(xiàng)可以在“高ji”選項(xiàng)卡 (主屏幕)中設(shè)置測(cè)量的NA–這將包括曲線擬合期間計(jì)算中的NA 校正(通常不需要FFT 校正)MProbe 40 MSP 系統(tǒng)使用NA<0.55 的長(zhǎng)工作距離 物鏡。這非常大限度地減少了幾乎所有膠片疊層的測(cè)量信號(hào)的衰減。此外,長(zhǎng)工作距離使得導(dǎo)航到測(cè)量位置更 ...
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