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中文：掃描干涉場曝光；英文：scanning beam interference exposure

解釋
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 兩束小截面高斯激光相干涉形成直線度誤差為幾納米的干涉條紋，通過精密工作臺(tái)的二維運(yùn)動(dòng)以掃描方式將干涉條紋記錄于光刻膠上的一種感光過程。