中文：相位偏移干涉術(shù)；英文：phase shifting in-terferometry / PSI的原理；中文：相位偏移干涉術(shù)；英文：phase shifting in-terferometry / PSI的定義；中文：相位偏移干涉術(shù)；英文：phase shifting in-terferometry / PSI是什么。
又稱“相移術(shù)” “移相術(shù)”。通過(guò)有規(guī)律地移動(dòng)參考鏡或者其他相位調(diào)制方法，使參考光的空域或者時(shí)域相位被調(diào)制，從而形成干涉條紋的一種干涉術(shù)。用CCD采集不同相位的干涉圖，經(jīng)信號(hào)處理求得被測(cè)相位分布。