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中文:全息曝光;英文:holographic exposure

解釋
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將涂有光致抗蝕劑的光柵基底置入兩束單色光形成的干涉場(chǎng)內(nèi),經(jīng)過(guò)明暗相間的干涉條紋照射后,使光致抗蝕劑涂層發(fā)生與干涉條紋相對(duì)應(yīng)的化學(xué)變化的處理過(guò)程。