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中文：光刻成像；英文：lithography imaging

解釋
中文：光刻成像；英文：lithography imaging的原理；中文：光刻成像；英文：lithography imaging的定義；中文：光刻成像；英文：lithography imaging是什么。
 經(jīng)過(guò)光刻系統(tǒng)將光刻掩模圖形成像到基底上抗蝕劑或光刻膠中的成像過(guò)程。