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中文：浸沒光刻；英文：immersion lithography

解釋
中文：浸沒光刻；英文：immersion lithography的原理；中文：浸沒光刻；英文：immersion lithography的定義；中文：浸沒光刻；英文：immersion lithography是什么。
 在光刻投影鏡頭與基底之間充滿介質(zhì)，以增大投影鏡頭的數(shù)值孔徑、提高光刻成像分辨率和焦深的光刻工藝。