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中文:后烘;英文:post exposure bake
關鍵詞
后烘
post exposure bake
解釋
中文:后烘;英文:post exposure bake的原理;中文:后烘;英文:post exposure bake的定義;中文:后烘;英文:post exposure bake是什么。
對顯影后的光刻膠光柵在特定溫度條件下進行烘焙的過程。后烘可去除光柵基底上殘余的顯影溶劑,改善掩模與光柵基底的黏附能力,同時使掩模硬化。
相關詞條
中文:光柵;英文:grating
中文:曝光量;英文:exposure
中文:曝光;英文:exposure
中文:顯影;英文:develoμment
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