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或者實(shí)現(xiàn)光的非相干性到相干性的轉(zhuǎn)變。將SLM同超快激光微納加工技術(shù)結(jié)合起來(lái)，發(fā)揮二者的優(yōu)勢(shì)，可大大提高激光微納加工的效率和靈活性。如：利用SLM生產(chǎn)多焦點(diǎn)的陣列（e.g. 30x30）, 從1個(gè)點(diǎn)變成900個(gè)點(diǎn)，加工效率提高900倍。同時(shí)通過(guò)控制各個(gè)點(diǎn)的位置，可以實(shí)現(xiàn)不同線(xiàn)寬不同焦深的控制。SLM還可以通過(guò)加載計(jì)算全息圖，可實(shí)現(xiàn)圖案結(jié)構(gòu)的一次性曝光加工。圖1 利用SLM生成多焦點(diǎn)陣列及并行加工圖案圖2 市面上的空間光調(diào)制器(SLM)產(chǎn)品示例 SLM除了可以調(diào)整激光生成二維多焦點(diǎn)配合移動(dòng)臺(tái)或振鏡進(jìn)行逐層掃描來(lái)實(shí)現(xiàn)三維加工外，SLM還可將飛秒激光調(diào)制成空間特定分布的點(diǎn)陣、線(xiàn)型光場(chǎng)、面型光場(chǎng)、實(shí) ...
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