，方向性強，相干性高等特點，飛秒激光微納加工在復(fù)雜的三維微納功能器件的加工領(lǐng)域具有獨特的優(yōu)勢。目前傳統(tǒng)的激光微納加工技術(shù)均為逐點掃描的加工方式，加工效率無法滿足實際生產(chǎn)的高效率需求?；诳臻g光調(diào)制器的計算全息技術(shù)可以實現(xiàn)靈活可控的光場分布，飛秒激光可以被精確的調(diào)制成預(yù)設(shè)的多焦點圖案陣列，從而實現(xiàn)高效的并行加工，可以大大的提高加工效率。同時利用空間光調(diào)制器可以方便的生成貝塞爾光束，可以實現(xiàn)微環(huán)形結(jié)構(gòu)的單次曝光式加工。關(guān)鍵詞 空間光調(diào)制器 超快激光微納加工 微納加工 激光加工介紹： 空間光調(diào)制器(SLM)可以將信息加載到二維光學數(shù)據(jù)場中，是一種對光束進行調(diào)整的器件。通過控制加載到SLM上的 ...

有非常良好的相干性的光源，隨著近四五十年激光技術(shù)的發(fā)展，激光器的種類，激光器的能量有了爆發(fā)性的增長，激光被越來越多的應(yīng)用在通訊，工業(yè)，國防，醫(yī)療，農(nóng)業(yè)等各個方面。激光加工作為傳統(tǒng)材料加工方式的一種補充方式，在材料加工領(lǐng)域逐步發(fā)展成熟起來，那么我們先來了解一下激光加工的原理以及激光加工與傳統(tǒng)加工方式有哪些不同。激光與物質(zhì)的相互作用是激光加工的物理基礎(chǔ)。因為激光必須被材料吸收并轉(zhuǎn)化，才能用不同波長不同功率密度或者不同能量密度的激光進行不同的加工。激光與物質(zhì)的相互作用涉及到激光物理，原子與分子物理，等離子體物理，固體與半導體物理，材料科學等廣泛的學科領(lǐng)域，當激光作用到材料上時，電磁能先轉(zhuǎn)化為電子激發(fā) ...

的光束質(zhì)量和相干性。N2 Laser（氮分子激光器，Nitrogen laser）337.1nm, 427nmAr+ Laser（氬離子激光器）488nm, 514.5nm, 351.1nm, 363.8nmHeNe Laser（氦氖激光器）632.8nm, 543.5nm, 594.1nm, 611.9nm, 1153nm, 1523nmCu Laser（銅蒸汽激光器）510.6nm, 578.2nmKr+ Laser（氪離子激光器）647.1nm, 676.4nmNd:YAG Laser（YAG激光器四倍頻）266nm都是基于摻釹釔鋁石榴石（Nd:YAG）的固體激光器，是市面上最常見的激光 ...

理自旋態(tài)時，相干性的損失。為了維持磁場敏感態(tài)，就需要去抑制這種弛豫。雖然可能有些反直覺，但是這一點可以通過增加蒸汽密度來實現(xiàn)。這樣就增加了自旋交換碰撞率。在低磁場的環(huán)境下發(fā)生極高數(shù)量的碰撞，自旋在兩次碰撞中沒有足夠的時間發(fā)生退相干，這就使得偏振態(tài)可以得到保持，從而也就維持了對外部磁場的敏感度。這被稱為無自旋交換弛豫（Spin-Exchange Relaxation Free，SERF）區(qū)間。在SERF區(qū)間里，偏振氣體宏觀磁動量遵循Bloch等式——一組描述宏觀磁場變化關(guān)于時間的方程。這樣，外部磁場的變化就可以得到很好的描述。這種描述表明，通過測量透過氣室的光強得到的蒸汽偏振，是關(guān)于外部磁場的洛 ...

光電導開關(guān)法圖1 光電導開關(guān)法輻射太赫茲原理圖如圖1，太赫茲光電導天線是在低溫生長的半導體表面上沉積兩片金屬電極，兩端電極之間保持一條微米量級寬度的空隙。在光電導開關(guān)兩端上施加偏置電壓后，當飛秒激光聚焦到天線縫隙表面時，基底材料中的電子吸收能量并從價帶躍遷到導帶，在天線表面瞬間（10-14 s）生成光生載流子（電子）。電子在偏置電場的加速作用下定向遷移生成瞬態(tài)光電流，進而向外輻射太赫茲波。理論上只要外加電場足夠強，太赫茲輻射就可以得到顯著的增強，但是實際實驗中過高的能量會導致光電導開關(guān)被損壞。另外半導體基底、金屬電極的幾何結(jié)構(gòu)與泵浦激光脈沖持續(xù)時間共同影響著光電導天線（光電導開關(guān)）的性能。半導 ...

性、單色性、相干性，以及更高的亮度。那么，什么是受激輻射呢？一束光，實際上就是一束光子流，由無數(shù)具有一定動量和方向的光子所組成。而光子則是由原子能級躍遷所產(chǎn)生，當原子由基態(tài)（低能級）向激發(fā)態(tài)（高能級）躍遷時，需要從外界吸收一個光子；而當原子由激發(fā)態(tài)向基態(tài)躍遷時，則需要向外界釋放一個光子。一個光子的能量：當我們用一個入射光子掠過原子時，就有一定幾率使該原子由激發(fā)態(tài)向基態(tài)躍遷，從而釋放出一個光子，最終，我們將得到兩個光子（入射光子和受激輻射所產(chǎn)生的光子）。并且，原子受激輻射所產(chǎn)生的光子與原入射光的光子是性質(zhì)全同的，即能量（頻率）、偏振、相位都相同。這就是受激輻射的光放大現(xiàn)象，也是激光產(chǎn)生的底層機制 ...

應(yīng)引起的輸運相干性的改變就是一個很好的例子，它可以極大地改變通過隧道裝置的峰值電流。因此，盡管通過微調(diào)振蕩器強度和反交叉能量仍有望取得一些改進，但提高器件性能的真正關(guān)鍵將是基于材料的。由于高效量子級聯(lián)激光器QCL的快速發(fā)展，在λ~4.6 ~ 4.8 μm范圍內(nèi)實現(xiàn)了室溫連續(xù)運行的高功率DFB QCL[19,20]。設(shè)計并制備了一種簡單的平面光柵，其光柵深度為120nm。計算得到的耦合系數(shù)為1.37cm?1，模態(tài)損失識別為0.4 cm?1，對于5 mm長腔的單模態(tài)工作是足夠的。后刻面涂HR涂層，前刻面涂AR涂層。AR涂層不僅有助于提高斜度效率，而且有助于凈化FP模式的高鏡面損耗的激光光譜。寬11 ...

可測量。對于相干性受多縱模而非噪聲限制的激光器，相干長度可能可以更準確地稱為“相干周期”，因為高對比度區(qū)域?qū)⒃谙喔砷L度的倍數(shù)處重復(fù)出現(xiàn)，盡管由于噪音和距離增加了一些退化。 因此，雖然法布里-珀羅（線性腔）激光器（如HeNe）的相干長度通常被認為是管長度，但可用的相干長度要短得多。在HeNe激光器中，通常只有幾個（但不止一個）縱模。這些腔模必須滿足駐波標準，該標準規(guī)定反射鏡之間必須是整數(shù)個半波長。在頻域中，這意味著兩種模式之間的“距離”是?nu = c/(2L)，其中L是激光器的長度。模式之間的拍頻引起時間相干性的周期性變化，周期為2L/c，即在光程差為n*2L（n為整數(shù)）的兩個光束之間獲得完全 ...

高單色性、高相干性。此后，激光技 術(shù)得到了飛速發(fā)展，其中一個重要方向就是向輸出脈寬越來越窄的脈沖方向發(fā)展。到目前為止，脈沖持續(xù)時間已由納秒(ns)、皮秒(ps)壓縮至飛秒(fs)，甚至至阿秒(as)級。故飛秒激光的脈沖持續(xù)時間遠短于熱平衡時間(10?12 s 數(shù)量級)，所以在與物質(zhì)作用時，飛秒激光注入的能量被集中在一個空間極小的范圍內(nèi)， 其能量幾乎不會被傳遞到直接作用區(qū)以外，對作用區(qū)周圍的熱影響極小。由于聚焦激光的焦斑尺寸極小， 能量密度極高，能量的利用率亦大大提高。這使得被作用區(qū)域的溫度在極短時間內(nèi)升到極高，遠超過材 料的液化和氣化溫度，促使物質(zhì)發(fā)生高度電離，達到等離子態(tài)。同時，由于飛秒激光 ...

間需要很強的相干性，從而使光場顯示與全息無法區(qū)分。再現(xiàn)accommodation的難度引起了視覺不適，因此不得不限制顯示的景深。為了再現(xiàn)顯示器平面之外的體素，光線需要被光學系統(tǒng)聚焦在那個點上。如果不能隨意重新聚焦子像素，光場顯示器只能從發(fā)射平面產(chǎn)生平面波前。如圖3a所示，當光場顯示器視圖再現(xiàn)離發(fā)射平面太遠的體素時，體素總是變得模糊。為了解決這個問題，研究人員開發(fā)了多平面光場顯示器。因為發(fā)射平面可以通過光學元件重新聚焦并沿觀察深度移動，因此可行。但是，這需要多路復(fù)用以在時間上或空間上生成不同的平面，從而增加了系統(tǒng)需要的帶寬。還有一個不可忽視的點是，當有很多視區(qū)的時候，不同平面之間的遮擋很難控制。 ...