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中文：微納光刻；英文：micro/nano lithography

解釋
中文：微納光刻；英文：micro/nano lithography的原理；中文：微納光刻；英文：micro/nano lithography的定義；中文：微納光刻；英文：micro/nano lithography是什么。
 利用光束、電子束或離子束曝光系統(tǒng)，將預制的母版微納結構圖形轉(zhuǎn)移到涂覆于基底（如硅片）上的抗蝕劑或光刻膠中的光刻工藝。
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